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    鉑悅儀器(上海)有限公司

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    布魯克 Delta-X 多功能X射線衍射儀/反射儀 XRD

    更新時間:2023-09-12

    產品品牌:布魯克Bruker

    產品型號:JV - DX / Delta-X

    產品描述:提供科研開發工作所需的各種X射線測試解決方案

     

    Delta-X  多功能X射線衍射儀/反射儀

    能滿足科學研究所和技術開發中心不同材料體系的全方位測試需求。

     

    產品簡介

    Jordan Valley公司設計的這款Delta-X多功能X射線衍射設備,可靈活應用于材料科學研究、工藝開發、與生產質量控制等環境。Delta-X衍射儀可以在常規衍射模式、高分辨率衍射模式、X射線反射模式之間靈活切換,衍射儀的光源臺和探測臺的光學元件可以全自動化調控,并采用了水平式樣品臺。

    光學配置的切換完全在菜單式程序控制下由計算機完成,無需手動操作。自動化切換和準直不需要專門人員和操作設備,并確保每次切換都能達到合適的光學準直狀態 。

    常規的樣品測量可以通過Delta-X衍射儀實現部分、乃至完全的自動化運行。自動化測量程序可以依客戶需求進行專門定制。也可采用完全的手動模式來操作衍射儀,以便發展新的測量方法,研究新材料體系。

    數據分析或擬合可以作為測量程序的一部分,能夠實現完全自動化,也可根據需求來單獨進行數據分析。 如以半導體生產線為例,根據生產線的需求,可以將RADS和REFS擬合軟件以自動化模式運行,能夠允許設備在沒有用戶干擾的情況下自動完成常規性的數據分析,并直接完成數據擬合和結果輸出。RADS和REFS也可以單獨安裝,以便進行更詳細的數據分析。

     

    產品特點

    ·  自動化進行樣品準直、測試、和數據分析

    ·  客戶可以自行設定測量的自動化程度

    ·  300 mm的歐拉環支架 (Eulerian Cradle) 設計,高精度的樣品定位和掃描

    ·  300 mm的晶片水平式放置,且可以完整映射

    ·  100° 的Chi 軸傾轉范圍、無限制范圍的 Ph i 軸旋轉空間, 可實現極圖和殘余應力測試

    ·  智能化的光學配置切換和準直。依測量需要,自動選擇光學配置并實施光學準直

    ·  強大的工業級設備控制軟件和數據分析軟件

    ·  高分辨率測角儀,以保證精密且準確的測量

    ·  高強度的光源臺設計和光學元件組合,實現快速測量

    ·  多方面廣泛的測試技術和測量參數

    ·  由擁有超過30年的高分辨率X射線衍射經驗的專家設計、制造,具有全球客戶經驗。

     

    產品優勢

    1、 自動化控制的光學系統

    Delta - X衍射儀的入射束包括多種標準的光學配置模式,使光學配置具有充分的靈活性,且易于操作??梢砸罁y量樣品的材料類型,選擇參考晶體。

    2、樣品臺

    Delta - X衍射儀的歐拉(Eulerian)環支架設計允許放置單個或多個晶片或樣品,并提供多個轉動軸的大范圍、高再現性的精確移動控制。

          ·  可放置直徑 300mm晶片或多個小尺寸晶片、樣品

          ·  “邊緣至邊緣“全晶片測量(無邊緣測量失真現象)

          ·  可選配特殊環境樣品臺,如高溫、真空等。

          

    3、探測臺

          ·  閃爍式高性能點探測器,顯著提高響應特性

          ·  性能卓越的線探測器(選配件)

    4、自動化機械手臂(Robot ) 選配件

          可選配全自動化機械手臂,實現直徑≤300mm晶片的全自動化裝卸和測量。

    5、系統控制和數據采集

    Delta - X衍射儀可以在不同模式下工作,包括菜單式全自動化測量、各個軸的手動準直和掃描等。

          ·  利用靈活、簡便的向導創建測量菜單

          ·  自動產生分析報告,提供實時信息和警示

    6、專業用戶功能

    專業用戶可以全面使用Delta - X衍射儀的更多專業功能??刂栖浖试S用戶使用從完全自動操作到完全手動準直和測量等的所有操作模式。

          ·  手動/自動化準直程序設置

          ·  可實現任何方向的專業掃描模式

          ·  功能強大的程序腳本

     

    應用示例

    ·  高分辨率X射線衍射和弛豫度(Relaxation)

        材料:單晶襯底材料(如Si,GaAs,InP,GaN)和外延層材料,包括多層外延膜結構

        參數:外延層厚度、組分、弛豫度、晶格應變、晶片均勻性、晶格失配、摻雜濃度、襯底斜切角、外延傾角。

    ·  三軸X射線衍射和倒易空間Map

        材料:單晶襯底材料(如Si,GaAs,InP,GaN)和外延層材料,包括多層外延膜結構

        參數:外延層厚度、組分、弛豫度、晶格應變、晶片均勻性、晶格失配、摻雜濃度、襯底斜切角、外延傾角。

    ·  高分辨X射線衍射(HRXRD) 數據示例 

        -  GaN基多量子阱結構

        -  硅襯底上生長III - V族材料

    ·  X射線反射(XRR )

        材料類型:薄膜

        參數:薄膜厚度、密度、粗糙度

        掃描方式:Omega - 2Theta掃描,Omega掃描,2Theta掃描

     

    ·  X射線衍射(XRD) 

        材料:測量多晶材料、納米材料、多晶薄膜等。對于超薄層材料、納米級厚度的薄膜材料,可以使用掠入射衍射。

        參數:相結構、織構、晶粒尺寸、顆粒尺寸、晶胞分析、結晶度分析、殘余應力測定。

     

    ·  多晶薄膜的X射線衍射(XRD)

        材料:測量多晶材料、納米材料、多晶薄膜等。對于超薄層材料、納米級厚度的薄膜材料,可以使用掠入射衍射。

        參數:相結構、晶格常數、晶粒尺寸

     

    ·  多晶薄膜的掠入射X射線衍射(GI - XRD)

        材料:測量多晶材料、納米材料、多晶薄膜等。對于超薄層材料、納米級厚度的薄膜材料,可以使用掠入射衍射。

        參數:相結構、織構、結晶度

        掃描模式: 2Theta掃描(GI - XRD)

     

    ·  多晶薄膜的極圖:織構測定

        材料:測量多晶材料、納米材料、多晶薄膜等。

        參數:織構

        掃描方式: Chi軸和Phi軸的聯合掃描

     

    ·  薄膜的殘余應力測定

        材料:測量多晶材料、納米材料、多晶薄膜等。

        參數:殘余應力

        掃描方式: 2Theta軸和Chi軸聯合掃描

     

    ·  X射線衍射應用示例

        -  超薄High - K材料

        -  薄膜的殘余應力測定

     

    分析軟件

    Jordan Valley分析軟件包已經擁有超過30年的使用經驗,并廣泛應用于薄膜材料結構特征的X射線表征。以原英國Bede Scientific公司的分析軟件包為基礎,Jordan Valley分析軟件在研究領域和工業生產領域都具有廣泛的適用性和優異性,并囊括了高分辨率X射線衍射(HRXRD ) 和X射線反射(XRR ) 自動化擬合軟件、通用分析軟件、映射圖繪制和分析軟件等。

    JV RADS:在工業生產領域是飽受好評與信任的軟件,廣泛用于單晶襯底上生長各種外延薄膜的HRXRD 數據分析。

    MDI JADE:擁有強大的XRD數據分析功能,包括衍射圖譜的閱讀、處理、分析,能夠準確進行相鑒定分析。

    JV REFS:用于分析X射線反射數據的軟件,軟件操作簡便、功能強大,廣泛應用在研發和生產領域。

    JV Contour:可繪制和展示2D或3D映射圖

    JV PeakSplit:提供了直接分析HRXRD和XRD數據的多種功能,對HRXRD或XRD測量數據做圖形化展示,并可擬合峰形特征。

    更多數據實例或詳細參數,歡迎與我司聯系索取。

     

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